초정밀 광학 솔루션 전문기업 그린광학이 진입장벽이 높은 반도체 핵심 전공정 장비 시장에 성공적으로 안착하며 글로벌 공급망 확장에 속도를 내고 있다.

그린광학은 반도체 핵심 전공정인 포토(노광) 공정 설비용 '정밀 광학·센서 모듈' 제품군의 고객사 최종 품질 인증을 마쳤다고 22일 밝혔다. 현재 해당 제품은 양산 공급이 진행 중이다.

이 제품군은 국내 유력 반도체 장비 기업의 포토 공정 핵심 설비에 탑재된다. 해당 설비는 글로벌 반도체 기업인 S사의 첨단 미세공정 반도체 제조라인에 공급돼 현재 실제 운용되고 있다.

그린광학이 공급하는 제품군은 노광 설비 내 구동을 담당하며, '고정밀 센서 모듈'과 '초정밀 광학 모듈'로 구성된다. 고정밀 센서 모듈은 설비 내 웨이퍼의 미세한 위치와 안착 상태를 실시간으로 감지한다. 초정밀 광학 모듈은 포토 공정 중 웨이퍼 외곽부의 감광액(PR가, Photoresist) 처리에 활용된다. 그린광학은 까다로운 전공정 장비 사양에 맞춘 테스트를 통과해 품질 안정성을 입증했다.

이번 공급은 그린광학의 공급망 확장을 보여주는 사례다. 그린광학은 앞서 후공정(HBM 검사)에서 기술력을 검증받은 데 이어 전공정 노광 설비 시장까지 진입하며 반도체 전·후공정을 아우르는 핵심 광학 모듈 포트폴리오를 확보했다.

전방 산업에서는 차세대 반도체 미세공정 투자와 국내 주요 장비 기업들의 수주 확대가 이어지고 있다. 이에 따라 그린광학은 내년부터 관련 공급 물량이 확대될 것으로 전망하며, 반도체 장비용 광학 부품 사업이 실적 성장의 주요 축이 될 것으로 기대하고 있다.

그린광학 관계자는 "이번 정밀 광학·센서 모듈 공급은 기술적 진입장벽이 가장 높은 반도체 전공정 노광 설비 분야에서 그린광학의 광학 기술과 품질 경쟁력을 공식 인정받았다는 점에서 의미가 있다"며 "차세대 반도체 공정에 최적화된 맞춤형 광학 솔루션을 지속 선보이며 글로벌 장비 기업들의 핵심 기술 파트너로 도약하겠다"고 강조했다.